虽然机载LiDAR有比较成熟的商业系统，但是激光雷达数据的处理系统现今还是相对不成熟的，现在主要使用的软件除了各个硬件公司提供的软件，主要使用的是芬兰Terrasolid。Terrasolid中主要包括TerraModelerTM、TerraScanTM和TerraPhotoTM。TerraScan，它的主要功能是根据点的坐标、光强、同一激光的首末反射值等信息将大量激光扫描测量数据进行分类。
它可以根据标准程序对所有的点进行批处理。另外它还象AutoCAD那样利用鼠标编辑图形，从不同角度观察图形，TerraScan是该系列软件的核心TerraModeler软件是用来生成和处理各种表面模型，可用来计算体积、面积，生成等高线、轮廓线，洪水淹没计算。TerraPhoto软件是用来处理原始数码影像的。将飞机的飞行数据文件(包括飞机位置、姿态、拍摄时间、影像排列等数据)、影像数据文件及地面数字模型文件输入系统，必要时将外控数据输入系统，该软件将根据这些数据进行全自动空三平差、镶嵌，形成彩色正射影像图(DOM)。